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簡單介紹了鈦泵的工作原理。濺射離子泵在高電壓和高磁場的作用下產生潘寧放電，吸附容器內氣體分子達到真空的目的。由于設備老化或操作不當等原因，濺射離子泵會發生各種故障。本文列舉了濺射離子泵的各種常見故障，根據工作機理分析了濺射離子泵發生故障的原因，并介紹了排除故障和維護保養的方法。對于鈦泵的操作使用人員和維修人員具有一定的借鑒意義。
真空技術與電光源工業的發展有著密切的聯系，在整個電光源工業中到處都涉及真空技術問題。能否獲得高質量的真空決定了生產出的光源產品的質量高低。因此，用來獲得真空的真空泵在電光源的制造過程中起著至關重要的作用。鈦泵是真空泵的一種，但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒有轉動機構，也不使用真空泵油，它采用俘獲氣體分子的方式除氣，能得到清潔的高真空，這對于提高光源質量有很大的幫助。但是，鈦泵特殊的除氣原理和特殊的結構使其與普通的真空泵的操作、保養和維修都有所不同。
鈦泵的工作原理真空的實質就是具有較低氣體分子濃度的空間。因此，只要降低空間的氣體分子濃度就能獲得真空，而不必有實際上的排氣過程。鈦泵正是基于此原理制造的。
通過加熱、電離等方法使鈦原子與空間氣體分子發生一系列復雜的物理和化學反應，使氣體分子伴隨鈦原子一起沉積下來，從而達到降低空間氣體分子濃度的目的。這就是鈦泵的基本工作原理。這與壓縮泵的原理( 即將氣體從一方壓縮到另一方來獲得真空) 有所不同。
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