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鈦泵件的電源和性能

2021-05-25 11:48:13

鈦泵的電源是高內阻電源,其空載輸出電壓在3~7KV間,但負載電流大時,輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源。可以用流過鈦泵陰陽極的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場強度下的放電電流Iion(mA)與壓強P(Torr)有一定的曲線關系。所以通過離子泵電源可反映出壓強的大小。

泵電源的面板上顯示有:輸出直流高壓和鈦泵放電電流等。

(1) 極限壓強:10-8帕

(2) 抽速:

鈦泵的抽速與陽極電壓和磁場強度有關,磁場強時抽速也大,對應蕞佳抽速的陽極電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合,可用基本結構單元并聯的方式使抽速達到50升/秒、100升/秒等。

(3) 啟動壓強:10-2帕

(4) 壽命

泵體

a、陰極耗盡壽命

陰極鈦板因濺射穿通而使泵無法使用。

b、陽極剝落壽命

陽極內沉積鈦膜的厚度太大時會產生剝落,導致泵內壓強的不規則強烈變化,使泵無法使用。

c、陽極吸飽壽命

陽極上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣,當達到飽和狀態時泵不能再吸附氣體。

在正常使用情況下,濺射離子泵的壽命可達幾萬小時。




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